フォトレジスト用樹脂 | |||||
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品番 | 外観 | 軟化点(℃) | 重量平均分子量 | タイプ | 特徴 |
LF-100 | 粒状 | 95~100 | 約5000 | メタパラクレゾールノボラック | アルカリ溶解性:中程度 |
LF-110 | 粒状 | 100~110 | 約9000 | メタパラクレゾールノボラック | アルカリ溶解性:低~中程度 |
LF-120 | 粒状 | 110~120 | 約20000 | メタパラクレゾールノボラック | 硬度大 |
LF-200 | 粒状 | 90~100 | 約20000 | オルトクレゾールノボラック | 硬度大 |
LF-400 | 粒状 | 77~82 | 約600 | パラクレゾールノボラック | 低分子量 |
LF-500 | 粒状 | 98~104 | 3000〜5000 | フェノールノボラック | アルカリ溶解性大調整用 |